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氯氣(Cl?)是半導體制造中光刻、蝕刻工藝的關鍵輔助氣體，兼具高毒(MAC=1mg/m3≈0.3ppm)、強腐蝕性、刺激性，微量泄漏即可引發呼吸道灼傷、設備腐蝕，甚至導致產線停擺，對半導體潔凈車間(Class 10~1000 級)的安全巡檢提出嚴苛要求。半導體巡檢便攜式氯氣檢測儀是深國安專為移動監測場景設計，以 “輕量化、高精度、抗干擾、適配潔凈環境” 為核心，成為半導體車間設備巡檢、氣瓶更換、管道維護的安全必備工具。

半導體巡檢便攜式氯氣檢測儀搭載進口電化學傳感器(針對氯氣強氧化性優化電極涂層與電解液配方)，有效抵御半導體車間氬氣、氮氣、硅烷等背景氣體干擾，檢測量程覆蓋 0-10ppm(常規)/0~50ppm(擴展)，分辨率達 0.01ppm，響應時間(T90)≤10 秒，測量精度≤±3% F.S.，能快速捕捉 ppm級微量泄漏，避免漏報、誤報。傳感器具備抗濕、抗粉塵設計，配合可更換式粉塵過濾器，延長使用壽命至 2-3 年，降低運維成本。

針對半導體巡檢的移動需求，SGA-606半導體巡檢便攜式氯氣檢測儀采用輕量化設計(重量≤280g)，配備防滑握柄與腰掛卡扣，方便巡檢人員隨身攜帶;2.5 寸高清彩屏支持強光下清晰顯示，操作界面簡潔直觀，一鍵開機即可進入檢測模式，無需復雜設置。內置大容量鋰電池，續航超 12 小時，支持 USB 快充(2 小時充滿)，滿足全天巡檢需求;采用泵吸式采樣設計，搭配 3 米伸縮采樣探桿，可深入氣瓶柜、設備間隙、管道接口等人工難及區域，精準采集氣體樣本。

半導體巡檢便攜式氯氣檢測儀防護等級達IP65，可耐受 - 20℃~60℃寬溫與低濕度環境，無懼強電磁干擾。設備具備多重安全功能：預設三級報警閾值(預警 0.1ppm、報警 0.2ppm、緊急報警 0.3ppm)，觸發后啟動聲光振動三重報警，確保巡檢人員及時察覺;半導體巡檢便攜式氯氣檢測儀內置 10 萬條數據存儲，支持藍牙 / USB 導出，滿足半導體行業合規追溯需求;配備傳感器自診斷與低電量提醒功能，保障巡檢過程中設備穩定可靠。

半導體巡檢便攜式氯氣檢測儀整機通過CPA 計量認證、Ex ia IIC T4 Ga 防爆認證，符合《半導體工廠安全規范》《工作場所有害因素職業接觸限值》等標準，適配半導體芯片制造、集成電路封裝、光伏電池生產等場景的巡檢需求，為氯氣使用全流程的移動監測提供精準、便捷的安全保障，守護巡檢人員健康與產線穩定。